产品特点：

• 高速响应，压电陶瓷驱动或直流伺服电机驱动；
• 较高的重复定位精度，纳米级位移分辨率；
• 机体材料为铝合金
• 采用数控、线切割等加工工艺，严格保证结构精度；
• 采用计算机有限源仿真分析等现代设计方法设计微动结构；

配套控制器，压电陶瓷驱动六维台（型号：RE56）

直流电机驱动六维台（型号：R z6）

开环控制：驱动电源型号：RH13；

闭环控制:控制器型号：RE53