■ 高速响应   

■ 压电陶瓷驱动

■ 较高的重复定位精度

■ 纳米级位移分辨率

■ 机体材料为铝合金

■ 具有开环和闭环两种控制方式

■ 采用数控、线切割等加工工艺，严格保证结构精度

■ 采用计算机有限元仿真分析等现代设计方案设计微动结构

■ 采用先进的表面处理工艺，提高了适应不同工作环境的能力