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一维Z轴纳米定位平台
产品特性:
高速响应;
压电陶瓷驱动;
较高的重复定位精度;
纳米级位移分辨率;
机体材料分铝合金和钛合金;
具有开环和闭环两种;
采用数控、线切割等加工工艺,严格保证构结精度;
采用计算机有限元仿真分析等现代设计方法设计微动结构;
采用先进的表面处理工艺,提高了适应不同工作环境的能力。
发布时间:2023-12-13
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