产品特性：

◆ 高速响应；

◆ 压电陶瓷驱动；

◆ 较高的重复定位精度高；

◆ 纳米级位移分辨率；

◆ 机体材料分铝合金和钛合金；

◆ 具有开环和闭环两种；

◆ 采用数控、线切割等加工工艺。严格保证结构精度；

◆ 采用计算机有限元仿真分析设计微动结构；

◆ 采用先进的表面处理工艺，提高了适应工作环境的能力