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一维重载纳米定位平台
◆ 高速响应;
◆ 压电陶瓷驱动;
◆ 较高的重复定位精度高;
◆ 纳米级位移分辨率;
◆ 机体材料分铝合金和钛合金;
◆ 具有开环和闭环两种;
◆ 采用数控、线切割等加工工艺。严格保证结构精度
发布时间:2023-12-13
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◆ 压电陶瓷驱动;
◆ 较高的重复定位精度高;
◆ 纳米级位移分辨率;
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◆ 采用数控、线切割等加工工艺。严格保证结构精度
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